Christian Meier

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PEVZ-ID
39414

3 Publikationen

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  • [3]
    2020 | Zeitschriftenaufsatz | Veröffentlicht | PUB-ID: 2948626
    N. Böwering, and C. Meier, “Cryogenic cleaning of tin-drop contamination on surfaces relevant for extreme ultraviolet light collection”, Journal of Vacuum Science & Technology B, 2020, 38, : 062602.
    PUB | DOI | WoS
     
  • [2]
    2019 | Zeitschriftenaufsatz | Veröffentlicht | PUB-ID: 2937335
    N. Böwering, and C. Meier, “Sticking behavior and transformation of tin droplets on silicon wafers and multilayer-coated mirrors”, Applied Physics A, 2019, 125, : 633.
    PUB | DOI | WoS
     
  • [1]
    2018 | Zeitschriftenaufsatz | Veröffentlicht | PUB-ID: 2919314
    N. Boewering, and C. Meier, “In situ transformation and cleaning of tin-drop contamination on mirrors for extreme ultraviolet light”, JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 2018, 36, : 10.
    PUB | DOI | WoS
     
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