PUB - Publikationen an der Universität Bielefeld

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  2020 | Zeitschriftenaufsatz | Veröffentlicht | PUB-ID: 2948626

  Böwering, N. & Meier, C. (2020). Cryogenic cleaning of tin-drop contamination on surfaces relevant for extreme ultraviolet light collection. Journal of Vacuum Science & Technology B, 38(6): 062602. American Vacuum Society (AVS). doi:10.1116/6.0000501.

  PUB | DOI | WoS
   
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  2019 | Zeitschriftenaufsatz | Veröffentlicht | PUB-ID: 2937335

  Böwering, N. & Meier, C. (2019). Sticking behavior and transformation of tin droplets on silicon wafers and multilayer-coated mirrors. Applied Physics A, 125(9): 633. Springer Heidelberg. doi:10.1007/s00339-019-2927-8.

  PUB | DOI | WoS
   
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  2018 | Zeitschriftenaufsatz | Veröffentlicht | PUB-ID: 2919314

  Boewering, N. & Meier, C. (2018). In situ transformation and cleaning of tin-drop contamination on mirrors for extreme ultraviolet light. JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 36(2): 10. A V S Amer Inst Physics. doi:10.1116/1.5016821.

  PUB | DOI | WoS