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  • [3]
    2020 | Zeitschriftenaufsatz | Veröffentlicht | PUB-ID: 2948626
    Böwering, N., Meier, C.: Cryogenic cleaning of tin-drop contamination on surfaces relevant for extreme ultraviolet light collection. Journal of Vacuum Science & Technology B. 38, : 062602 (2020).
    PUB | DOI | WoS
     
  • [2]
    2019 | Zeitschriftenaufsatz | Veröffentlicht | PUB-ID: 2937335
    Böwering, N., Meier, C.: Sticking behavior and transformation of tin droplets on silicon wafers and multilayer-coated mirrors. Applied Physics A. 125, : 633 (2019).
    PUB | DOI | WoS
     
  • [1]
    2018 | Zeitschriftenaufsatz | Veröffentlicht | PUB-ID: 2919314
    Boewering, N., Meier, C.: In situ transformation and cleaning of tin-drop contamination on mirrors for extreme ultraviolet light. JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B. 36, : 10 (2018).
    PUB | DOI | WoS
     

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