Christian Meier

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PEVZ-ID
39414

3 Publikationen

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  • [3]
    2020 | Zeitschriftenaufsatz | Veröffentlicht | PUB-ID: 2948626
    Böwering N, Meier C. Cryogenic cleaning of tin-drop contamination on surfaces relevant for extreme ultraviolet light collection. Journal of Vacuum Science & Technology B. 2020;38(6): 062602.
    PUB | DOI | WoS
     
  • [2]
    2019 | Zeitschriftenaufsatz | Veröffentlicht | PUB-ID: 2937335
    Böwering N, Meier C. Sticking behavior and transformation of tin droplets on silicon wafers and multilayer-coated mirrors. Applied Physics A. 2019;125(9): 633.
    PUB | DOI | WoS
     
  • [1]
    2018 | Zeitschriftenaufsatz | Veröffentlicht | PUB-ID: 2919314
    Boewering N, Meier C. In situ transformation and cleaning of tin-drop contamination on mirrors for extreme ultraviolet light. JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B. 2018;36(2): 10.
    PUB | DOI | WoS
     
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