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  • [3]
    2020 | Zeitschriftenaufsatz | Veröffentlicht | PUB-ID: 2948626
    Böwering, N.; Meier, C. (2020): Cryogenic cleaning of tin-drop contamination on surfaces relevant for extreme ultraviolet light collection Journal of Vacuum Science & Technology B,38:(6):062602
    PUB | DOI | WoS
     
  • [2]
    2019 | Zeitschriftenaufsatz | Veröffentlicht | PUB-ID: 2937335
    Böwering, N.; Meier, C. (2019): Sticking behavior and transformation of tin droplets on silicon wafers and multilayer-coated mirrors Applied Physics A,125:(9):633
    PUB | DOI | WoS
     
  • [1]
    2018 | Zeitschriftenaufsatz | Veröffentlicht | PUB-ID: 2919314
    Boewering, N.; Meier, C. (2018): In situ transformation and cleaning of tin-drop contamination on mirrors for extreme ultraviolet light JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B,36:(2):10
    PUB | DOI | WoS
     

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