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    2020 | Zeitschriftenaufsatz | Veröffentlicht | PUB-ID: 2948626
    Böwering, N., & Meier, C. (2020). Cryogenic cleaning of tin-drop contamination on surfaces relevant for extreme ultraviolet light collection. Journal of Vacuum Science & Technology B, 38(6), 062602. doi:10.1116/6.0000501
    PUB | DOI | WoS
     
  • [2]
    2019 | Zeitschriftenaufsatz | Veröffentlicht | PUB-ID: 2937335
    Böwering, N., & Meier, C. (2019). Sticking behavior and transformation of tin droplets on silicon wafers and multilayer-coated mirrors. Applied Physics A, 125(9), 633. doi:10.1007/s00339-019-2927-8
    PUB | DOI | WoS
     
  • [1]
    2018 | Zeitschriftenaufsatz | Veröffentlicht | PUB-ID: 2919314
    Boewering, N., & Meier, C. (2018). In situ transformation and cleaning of tin-drop contamination on mirrors for extreme ultraviolet light. JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 36(2), 10. doi:10.1116/1.5016821
    PUB | DOI | WoS
     

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