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  • [3]
    2020 | Zeitschriftenaufsatz | Veröffentlicht | PUB-ID: 2948626
    Böwering N, Meier C (2020)
    Cryogenic cleaning of tin-drop contamination on surfaces relevant for extreme ultraviolet light collection.
    Journal of Vacuum Science & Technology B 38(6): 062602.
    PUB | DOI | WoS
     
  • [2]
    2019 | Zeitschriftenaufsatz | Veröffentlicht | PUB-ID: 2937335
    Böwering N, Meier C (2019)
    Sticking behavior and transformation of tin droplets on silicon wafers and multilayer-coated mirrors.
    Applied Physics A 125(9): 633.
    PUB | DOI | WoS
     
  • [1]
    2018 | Zeitschriftenaufsatz | Veröffentlicht | PUB-ID: 2919314
    Boewering N, Meier C (2018)
    In situ transformation and cleaning of tin-drop contamination on mirrors for extreme ultraviolet light.
    JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B 36(2): 10.
    PUB | DOI | WoS
     

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