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[3]
2020 | Zeitschriftenaufsatz | Veröffentlicht | PUB-ID: 2948626
Cryogenic cleaning of tin-drop contamination on surfaces relevant for extreme ultraviolet light collection
Böwering N, Meier C (2020)
Journal of Vacuum Science & Technology B 38(6): 062602.
PUB | DOI | WoS
 
[2]
2019 | Zeitschriftenaufsatz | Veröffentlicht | PUB-ID: 2937335 PUB | DOI | WoS
 
[1]
2018 | Zeitschriftenaufsatz | Veröffentlicht | PUB-ID: 2919314
In situ transformation and cleaning of tin-drop contamination on mirrors for extreme ultraviolet light
Boewering N, Meier C (2018)
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B 36(2): 10.
PUB | DOI | WoS
 

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2020 | Zeitschriftenaufsatz | Veröffentlicht | PUB-ID: 2948626
Cryogenic cleaning of tin-drop contamination on surfaces relevant for extreme ultraviolet light collection
Böwering N, Meier C (2020)
Journal of Vacuum Science & Technology B 38(6): 062602.
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In situ transformation and cleaning of tin-drop contamination on mirrors for extreme ultraviolet light
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