PUB - Publikationen an der Universität Bielefeld

Christian Meier

chmeier@physik.uni-bielefeld.de

PEVZ-ID

3 Publikationen

[3]

2020 | Zeitschriftenaufsatz | Veröffentlicht | PUB-ID: 2948626
Cryogenic cleaning of tin-drop contamination on surfaces relevant for extreme ultraviolet light collection
Böwering N, Meier C (2020)
Journal of Vacuum Science & Technology B 38(6): 062602.
PUB | DOI | WoS
[2]

2019 | Zeitschriftenaufsatz | Veröffentlicht | PUB-ID: 2937335
Sticking behavior and transformation of tin droplets on silicon wafers and multilayer-coated mirrors
Böwering N, Meier C (2019)
Applied Physics A 125(9): 633.
PUB | DOI | WoS
[1]

2018 | Zeitschriftenaufsatz | Veröffentlicht | PUB-ID: 2919314
In situ transformation and cleaning of tin-drop contamination on mirrors for extreme ultraviolet light
Boewering N, Meier C (2018)
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B 36(2): 10.
PUB | DOI | WoS