1 Publikation

[1]
2018 | Zeitschriftenaufsatz | Veröffentlicht | PUB-ID: 2921242
Multilevel process on large area wafers for nanoscale devices
Pires BJ, Silva AV, Moskaltsova A, Deepak FL, Brogueira P, Leitao DC, Cardoso S (2018)
JOURNAL OF MANUFACTURING PROCESSES 32: 222-229.
PUB | DOI | WoS
 

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2018 | Zeitschriftenaufsatz | Veröffentlicht | PUB-ID: 2921242
Multilevel process on large area wafers for nanoscale devices
Pires BJ, Silva AV, Moskaltsova A, Deepak FL, Brogueira P, Leitao DC, Cardoso S (2018)
JOURNAL OF MANUFACTURING PROCESSES 32: 222-229.
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