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2 Publikationen

2015 | Zeitschriftenaufsatz | Veröffentlicht | PUB-ID: 2724431 PUB | PDF | DOI
 
2000 | Zeitschriftenaufsatz | Veröffentlicht | PUB-ID: 1618235
Reactive ion etching with end point detection of microstructured Mo/Si multilayers by optical emission spectroscopy
Dreeskornfeld L, Segler R, Haindl G, Wehmeyer O, Rahn S, Majkova E, Kleineberg U, Heinzmann U, Hudek P, Kostic I (2000)
MICROELECTRONIC ENGINEERING 54(3-4): 303-314.
PUB | DOI | WoS
 

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