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6 Publikationen

2018 | Zeitschriftenaufsatz | Veröffentlicht | PUB-ID: 2919314
In situ transformation and cleaning of tin-drop contamination on mirrors for extreme ultraviolet light
Boewering N, Meier C (2018)
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B 36(2): 10.
PUB | DOI | WoS
 
2010 | Zeitschriftenaufsatz | Veröffentlicht | PUB-ID: 2913833
Vertical and lateral drift corrections of scanning probe microscopy images
Rahe P, Bechstein R, Kühnle A (2010)
Journal of Vacuum Science & Technology B 28(3): C4E31.
PUB | PDF | DOI | WoS
 
2010 | Zeitschriftenaufsatz | Veröffentlicht | PUB-ID: 1913577
Fabrication of metal patterns on freestanding graphenoid nanomembranes
Beyer A, Turchanin A, Nottbohm CT, Mellech N, Schnietz M, Gölzhäuser A (2010)
Journal of Vac.Sci.Tenol.B 28(6): C6D5.
PUB | DOI | WoS
 
2009 | Zeitschriftenaufsatz | Veröffentlicht | PUB-ID: 1589294
Direct e-beam writing of 1 nm thin carbon nanoribbons
Nottbohm CT, Turchanin A, Beyer A, Gölzhäuser A (2009)
Journal of Vacuum Science & Technology B 27(6): 3059-3062.
PUB | DOI | WoS
 
2006 | Zeitschriftenaufsatz | Veröffentlicht | PUB-ID: 1596280
Actinic extreme ultraviolet lithography mask blank defect inspection by photoemission electron microscopy
Lin J, Neuhaeusler U, Slieh J, Brechling A, Kleineberg U, Heinzmann U, Oelsner A, Valdaitsev D, Schoenhense G, Weber N, Escher M, et al. (2006)
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B 24(6): 2631-2635.
PUB | DOI | WoS
 
1998 | Konferenzbeitrag | Veröffentlicht | PUB-ID: 1623884
Nanolithography of metal films using scanning force microscope patterned carbon masks
Mühl T, Brückl H, Kraut D, Kretz J, Mönch I, Reiss G (1998)
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B 16(6): 3879-3882.
PUB | DOI | WoS
 

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