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55 Publikationen

2007 | Konferenzbeitrag | Veröffentlicht | PUB-ID: 1593514
Lin, J.; Neuhaeusler, U.; Slieh, J.; Brechling, A.; Heinzmann, U.; Weber, N.; Escher, M.; Merkel, M.; Oelsner, A.; Valdaitsev, D.; Schoenhense, G.; Quesnel, E.; Kleineberg, U. (2007): Actinic inspection of EUVL mask blank defects by photoemission electron microscopy: Effect of inspection wavelength variation MICROELECTRONIC ENGINEERING,84:(5-8): 1011-1014.
PUB | DOI | WoS
 
2007 | Zeitschriftenaufsatz | Veröffentlicht | PUB-ID: 1595083
Uiberacker, M.; Uphues, T.; Schultze, M.; Verhoef, A. J.; Yakovlev, V.; Kling, M. F.; Rauschenberger, J.; Kabachnik, N. M.; Schröder, H.; Lezius, M.; Kompa, K. L.; Muller, H. - G.; Vrakking, M. J. J.; Hendel, S.; Kleineberg, U.; Heinzmann, U.; Drescher, M.; Krausz, F. (2007): Attosecond real-time observation of electron tunnelling in atoms Nature,446:(7136): 627-632.
PUB | DOI | WoS | PubMed | Europe PMC
 
2007 | Zeitschriftenaufsatz | Veröffentlicht | PUB-ID: 1631830
Cavalieri, A. L.; Müller, N.; Uphues, T.; Yakovlev, V. S.; Baltuska, A.; Horvath, B.; Schmidt, B.; Blümel, L.; Holzwarth, R.; Hendel, S.; Drescher, M.; Kleineberg, U.; Echenique, P. M.; Kienberger, R.; Krausz, F.; Heinzmann, U. (2007): Attosecond spectroscopy in condensed matter Nature,449:(7165): 1029-1032.
PUB | DOI | WoS | PubMed | Europe PMC
 
2007 | Konferenzbeitrag | Veröffentlicht | PUB-ID: 1631440
Maul, J.; Lin, J.; Oelsner, A.; Valdaitsev, D.; Weber, N.; Escher, M.; Merkel, M.; Seitz, H.; Heinzmann, U.; Kleineberg, U.; Schoenhense, G. (2007): Phase defect inspection of multilayer masks for 13.5 nm optical lithography using PEEM in a standing wave mode SURFACE SCIENCE,601:(20): 4758-4763.
PUB | DOI | WoS
 
2006 | Zeitschriftenaufsatz | Veröffentlicht | PUB-ID: 1596280
Lin, J.; Neuhaeusler, U.; Slieh, J.; Brechling, A.; Kleineberg, U.; Heinzmann, U.; Oelsner, A.; Valdaitsev, D.; Schoenhense, G.; Weber, N.; Escher, M.; Merkel, M. (2006): Actinic extreme ultraviolet lithography mask blank defect inspection by photoemission electron microscopy JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B,24:(6): 2631-2635.
PUB | DOI | WoS
 
2006 | Zeitschriftenaufsatz | Veröffentlicht | PUB-ID: 1597153
Müller, N.; Khalil, T.; Pohl, M.; Uphues, T.; Polcik, M.; Rader, O.; Heigl, F.; Starke, K.; Fritzsche, S.; Kabachnik, N. M.; Heinzmann, U. (2006): Interference of spin states in resonant photoemission induced by circularly polarized light from magnetized Gd PHYSICAL REVIEW B,74:(16):161401
PUB | DOI | WoS
 
2006 | Konferenzbeitrag | Veröffentlicht | PUB-ID: 1599271
Neuhäusler, U.; Lin, J.; Oelsner, A.; Schicketanz, M.; Valdaitsev, D.; Slieh, J.; Weber, N.; Brzeska, M.; Wonisch, A.; Westerwalbesloh, T.; Brechling, A.; Brückl, H.; Escher, M.; Merkel, M.; Schonhense, G.; Kleineberg, U.; Heinzmann, U. (2006): A new approach for actinic defect inspection of EUVL multilayer mask blanks: Standing wave photoemission electron microscopy MICROELECTRONIC ENGINEERING,83:(4-9): 680-683.
PUB | DOI | WoS
 
2006 | Zeitschriftenaufsatz | Veröffentlicht | PUB-ID: 1600433
Neuhäusler, U.; Oelsner, A.; Slieh, J.; Brzeska, M.; Wonisch, A.; Westerwalbesloh, T.; Brückl, H.; Schicketanz, M.; Weber, N.; Escher, M.; Merkel, M.; Schonhense, G.; Kleineberg, U.; Heinzmann, U. (2006): High-resolution actinic defect inspection for extreme ultraviolet lithography multilayer mask blanks by photoemission electron microscopy APPLIED PHYSICS LETTERS,88:(5):053113
PUB | DOI | WoS
 
2006 | Zeitschriftenaufsatz | Veröffentlicht | PUB-ID: 1601030
Szekeres, A.; Nikolova, T.; Simeonov, S.; Gushterov, A.; Hamelmann, F.; Heinzmann, U. (2006): Plasma-assisted chemical vapor deposited silicon oxynitride as an alternative material for gate dielectric in MOS devices MICROELECTRONICS JOURNAL,37:(1): 64-70.
PUB | DOI | WoS
 
2006 | Zeitschriftenaufsatz | Veröffentlicht | PUB-ID: 1599019
Wonisch, A.; Neuhäusler, U.; Kabachnik, N. M.; Uphues, T.; Uiberacker, M.; Yakovlev, V.; Krausz, F.; Drescher, M.; Kleineberg, U.; Heinzmann, U. (2006): Design, fabrication, and analysis of chirped multilayer mirrors for reflection of extreme-ultraviolet attosecond pulses APPLIED OPTICS,45:(17): 4147-4156.
PUB | DOI | WoS | PubMed | Europe PMC
 
2005 | Konferenzbeitrag | Veröffentlicht | PUB-ID: 1874437
Gesheva, K.; Ivanova, T.; Steinman, E.; Hamelmann, F.; Heinzmann, U.; Brechling, A. (2005): Technology and characterization of CVD-grown mixed Mo/W oxide films and electrochromic devices made on their basis. In: ECS Proceedings PV 2005-09. S. 799-799.
PUB
 
2005 | Konferenzbeitrag | Veröffentlicht | PUB-ID: 1604367
Szekeres, A.; Simeonov, S.; Gushterov, A.; Nikolova, T.; Hamelmann, F.; Heinzmann, U. (2005): Electrical properties of plasma-assisted CVD deposited thin silicon oxynitride films JOURNAL OF OPTOELECTRONICS AND ADVANCED MATERIALS,7:(1): 553-556.
PUB | WoS
 
2005 | Zeitschriftenaufsatz | Veröffentlicht | PUB-ID: 1605048
Uiberacker, M.; Goulielmakis, E.; Kienberger, R.; Baltuska, A.; Westerwalbesloh, T.; Keineberg, U.; Heinzmann, U.; Drescher, M.; Krausz, F. (2005): Attosecond metrology with controlled light waveforms LASER PHYSICS,15:(1): 195-204.
PUB | WoS
 
2005 | Zeitschriftenaufsatz | Veröffentlicht | PUB-ID: 1605264
Wieland, M.; Spielmann, C.; Kleineberg, U.; Westerwalbesloh, T.; Heinzmann, U.; Wilhein, T. (2005): Toward time-resolved soft X-ray microscopy using pulsed fs-high-harmonic radiation ULTRAMICROSCOPY,102:(2): 93-100.
PUB | DOI | WoS | PubMed | Europe PMC
 
2005 | Konferenzbeitrag | Veröffentlicht | PUB-ID: 1604354
Hamelmann, F.; Heinzmann, U.; Szekeres, A.; Kirov, N.; Nikolova, T. (2005): Deposition of silicon oxide thin films in TEOS with addition of oxygen to the plasma ambient: IR spectra analysis JOURNAL OF OPTOELECTRONICS AND ADVANCED MATERIALS,7:(1): 389-392.
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2005 | Konferenzbeitrag | Veröffentlicht | PUB-ID: 1604360
Hamelmann, F.; Gesheva, K.; Ivanova, T.; Szekeres, A.; Abrashev, M.; Heinzmann, U. (2005): Optical and electrochromic characterization of multilayered mixed metal oxide thin films JOURNAL OF OPTOELECTRONICS AND ADVANCED MATERIALS,7:(1): 393-396.
PUB | WoS
 
2004 | Sammelwerksbeitrag | Veröffentlicht | PUB-ID: 1876589
Drescher, M.; Hentschel, M.; Kienberger, R.; Uiberacker, M.; Yakovlev, V.; Scrinzi, A.; Westerwalbesloh, T.; Kleineberg, U.; Heinzmann, U.; Krausz, F. (2004): Time-resolved inner-shell spectroscopy with sub-fs EUV pulses. In: Ferenc Krausz; Georg Korn; Paul Corkum; Ian A. Walmsley (Hrsg.): Ultrafast Optics IV. New York: Springer. (Springer Series in OPTICAL SCIENCES, 95).
PUB | DOI
 
2004 | Sammelwerksbeitrag | Veröffentlicht | PUB-ID: 1876611
Westerwalbesloh, T.; Kleineberg, U.; Lim, Y. C.; Siffalovic, P.; Drescher, M.; Heinzmann, U. (2004): Multilayer EUV Optics for Applications of Ultrashort High Harmonic Pulses. In: Ferenc Krausz; Georg Korn; Paul Corkum; Ian A. Walmsley (Hrsg.): Ultrafast Optics IV. New York: Springer. (Springer Series in OPTICAL SCIENCES, 95).
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2004 | Sammelwerksbeitrag | Veröffentlicht | PUB-ID: 1876575
Wieland, M.; Spielmann, C.; Kleineberg, U.; Heinzmann, U.; Wilhein, T. (2004): Application of high-harmonic radiation for EUV interferometry and spectroscopy. In: Ferenc Krausz; Georg Korn; Paul Corkum; Ian A. Walmsley (Hrsg.): Ultrafast Optics IV. New York: Springer. (Springer Series in OPTICAL SCIENCES, 95). S. 467-467.
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2004 | Zeitschriftenaufsatz | Veröffentlicht | PUB-ID: 1875279
Drescher, M.; Hentschel, M.; Kienberger, P.; Uiberacker, M.; Westerwalbesloh, T.; Kleineberg, U.; Krausz, F.; Heinzmann, U. (2004): Time-resolved electron spectroscopy of atomic inner-shell dynamics J. Electr. Spectr. 137-140,137-140: 259-264.
PUB | DOI | WoS
 

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