Untersuchungen des Gasphasenverhaltens von Vorläufersubstanzen für Silberabscheidungen mit Massenspektrometrie und Abscheidungsexperimenten
Haase T (2006)
Tönning: Der Andere Verl.
Dissertation | Deutsch
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Autor*in
Haase, Thomas
Einrichtung
Stichworte
Mikroelektronik;
Metallisieren;
Silber;
CVD-Verfahren;
Ausgangsmaterial
Erscheinungsjahr
2006
ISBN
978-3-89959-488-1
Page URI
https://pub.uni-bielefeld.de/record/2435706
Zitieren
Haase T. Untersuchungen des Gasphasenverhaltens von Vorläufersubstanzen für Silberabscheidungen mit Massenspektrometrie und Abscheidungsexperimenten. Tönning: Der Andere Verl.; 2006.
Haase, T. (2006). Untersuchungen des Gasphasenverhaltens von Vorläufersubstanzen für Silberabscheidungen mit Massenspektrometrie und Abscheidungsexperimenten. Tönning: Der Andere Verl.
Haase, Thomas. 2006. Untersuchungen des Gasphasenverhaltens von Vorläufersubstanzen für Silberabscheidungen mit Massenspektrometrie und Abscheidungsexperimenten. Tönning: Der Andere Verl.
Haase, T. (2006). Untersuchungen des Gasphasenverhaltens von Vorläufersubstanzen für Silberabscheidungen mit Massenspektrometrie und Abscheidungsexperimenten. Tönning: Der Andere Verl.
Haase, T., 2006. Untersuchungen des Gasphasenverhaltens von Vorläufersubstanzen für Silberabscheidungen mit Massenspektrometrie und Abscheidungsexperimenten, Tönning: Der Andere Verl.
T. Haase, Untersuchungen des Gasphasenverhaltens von Vorläufersubstanzen für Silberabscheidungen mit Massenspektrometrie und Abscheidungsexperimenten, Tönning: Der Andere Verl., 2006.
Haase, T.: Untersuchungen des Gasphasenverhaltens von Vorläufersubstanzen für Silberabscheidungen mit Massenspektrometrie und Abscheidungsexperimenten. Der Andere Verl., Tönning (2006).
Haase, Thomas. Untersuchungen des Gasphasenverhaltens von Vorläufersubstanzen für Silberabscheidungen mit Massenspektrometrie und Abscheidungsexperimenten. Tönning: Der Andere Verl., 2006.
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