Charakterisierung der Gasphase eines Heißdraht-CVD-Systems zur Diamantabscheidung mit laserdiagnostischen Methoden: ortsaufgelöste Bestimmung von Temperaturen vowie H- und CH 3 -Konzentrationen

Heberle N (1994)
Stuttgart: Inst. für Physikalische Chemie und Verbrennung, Dt. Forschungsanst. für Luft- und Raumfahrt (DLR).

Dissertation | Deutsch
 
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Autor*in
Heberle, Norbert
Erscheinungsjahr
1994
Seite(n)
II, 117
Page URI
https://pub.uni-bielefeld.de/record/2431985

Zitieren

Heberle N. Charakterisierung der Gasphase eines Heißdraht-CVD-Systems zur Diamantabscheidung mit laserdiagnostischen Methoden: ortsaufgelöste Bestimmung von Temperaturen vowie H- und CH 3 -Konzentrationen. Stuttgart: Inst. für Physikalische Chemie und Verbrennung, Dt. Forschungsanst. für Luft- und Raumfahrt (DLR); 1994.
Heberle, N. (1994). Charakterisierung der Gasphase eines Heißdraht-CVD-Systems zur Diamantabscheidung mit laserdiagnostischen Methoden: ortsaufgelöste Bestimmung von Temperaturen vowie H- und CH 3 -Konzentrationen. Stuttgart: Inst. für Physikalische Chemie und Verbrennung, Dt. Forschungsanst. für Luft- und Raumfahrt (DLR).
Heberle, N. (1994). Charakterisierung der Gasphase eines Heißdraht-CVD-Systems zur Diamantabscheidung mit laserdiagnostischen Methoden: ortsaufgelöste Bestimmung von Temperaturen vowie H- und CH 3 -Konzentrationen. Stuttgart: Inst. für Physikalische Chemie und Verbrennung, Dt. Forschungsanst. für Luft- und Raumfahrt (DLR).
Heberle, N., 1994. Charakterisierung der Gasphase eines Heißdraht-CVD-Systems zur Diamantabscheidung mit laserdiagnostischen Methoden: ortsaufgelöste Bestimmung von Temperaturen vowie H- und CH 3 -Konzentrationen, Stuttgart: Inst. für Physikalische Chemie und Verbrennung, Dt. Forschungsanst. für Luft- und Raumfahrt (DLR).
N. Heberle, Charakterisierung der Gasphase eines Heißdraht-CVD-Systems zur Diamantabscheidung mit laserdiagnostischen Methoden: ortsaufgelöste Bestimmung von Temperaturen vowie H- und CH 3 -Konzentrationen, Stuttgart: Inst. für Physikalische Chemie und Verbrennung, Dt. Forschungsanst. für Luft- und Raumfahrt (DLR), 1994.
Heberle, N.: Charakterisierung der Gasphase eines Heißdraht-CVD-Systems zur Diamantabscheidung mit laserdiagnostischen Methoden: ortsaufgelöste Bestimmung von Temperaturen vowie H- und CH 3 -Konzentrationen. Inst. für Physikalische Chemie und Verbrennung, Dt. Forschungsanst. für Luft- und Raumfahrt (DLR), Stuttgart (1994).
Heberle, Norbert. Charakterisierung der Gasphase eines Heißdraht-CVD-Systems zur Diamantabscheidung mit laserdiagnostischen Methoden: ortsaufgelöste Bestimmung von Temperaturen vowie H- und CH 3 -Konzentrationen. Stuttgart: Inst. für Physikalische Chemie und Verbrennung, Dt. Forschungsanst. für Luft- und Raumfahrt (DLR), 1994.

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