Hydridogermane und -silane : Synthese und Studien zur Abscheidung nanodimensionierter Materialien

Dittmar K (2002)
Bielefeld (Germany): Bielefeld University.

Bielefelder E-Dissertation | Deutsch
 
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Autor*in
Dittmar, Kersten
Betreuer*in
Jutzi, Peter (Prof. Dr.)
Abstract / Bemerkung
Die vorliegende Dissertation beschäftigt sich mit der Synthese von Hydridogermanen und -silanen sowie mit Studien zur Abscheidung nanodimensionierter Materialien im MOCVD-Prozess. Kapitel 1 beschreibt die optimierte Synthese von Germanen des Typs Cp*GeH3 und untersucht die Stabilität dieser Verbindungen. Mit Hilfe von Untersuchungen an einem Cold-Wall-MOCVD-Reaktor mit In-Situ-Massenspektrometrie wird das Fragmentierungsverhalten aufgeklärt. Durch entsprechende Ex-Situ-Analytik werden die deponierten Germaniumschichten auf ihre Zusammensetzung und Morphologie hin analysiert. In Kapitel 2 werden Experimente zur Darstellung nanodimensionierter Germanium- und Siliciumpartikel in mesoporösem MCM-41 vorgestellt. Die Untersuchung der erhaltenen Materialien zeigt, dass bei den dargestellten Partikeln Größenquantisierungseffekte auftreten. Kapitel 3 beschäftigt sich mit der Thermolyse von Disiloxan sowie der Untersuchung der erhaltenen Pyrolysate. Im weiteren Verlauf werden Versuche zur Darstellung eines Cp*-substituierten Disiloxans beschrieben.
Stichworte
Germane , Cyclopentadienylgruppe , CVD-Verfahren , Germanium , Nanopartikel , Zeolith M41S , Mesoporöser Kristall , Wirtsmolekül , Vakuumbeschichten , Germanium , Chemische Gasphasenabscheidung (CVD) , Silicium , Nanopartikel , Chemical Vapor Deposition (CVD)
Jahr
2002
Page URI
https://pub.uni-bielefeld.de/record/2304532

Zitieren

Dittmar K. Hydridogermane und -silane : Synthese und Studien zur Abscheidung nanodimensionierter Materialien. Bielefeld (Germany): Bielefeld University; 2002.
Dittmar, K. (2002). Hydridogermane und -silane : Synthese und Studien zur Abscheidung nanodimensionierter Materialien. Bielefeld (Germany): Bielefeld University.
Dittmar, K. (2002). Hydridogermane und -silane : Synthese und Studien zur Abscheidung nanodimensionierter Materialien. Bielefeld (Germany): Bielefeld University.
Dittmar, K., 2002. Hydridogermane und -silane : Synthese und Studien zur Abscheidung nanodimensionierter Materialien, Bielefeld (Germany): Bielefeld University.
K. Dittmar, Hydridogermane und -silane : Synthese und Studien zur Abscheidung nanodimensionierter Materialien, Bielefeld (Germany): Bielefeld University, 2002.
Dittmar, K.: Hydridogermane und -silane : Synthese und Studien zur Abscheidung nanodimensionierter Materialien. Bielefeld University, Bielefeld (Germany) (2002).
Dittmar, Kersten. Hydridogermane und -silane : Synthese und Studien zur Abscheidung nanodimensionierter Materialien. Bielefeld (Germany): Bielefeld University, 2002.
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