Entwicklung und Charakterisierung von La/B4C-Multischichtsystemen als Röntgenspiegel im Energiebereich 100 - 200 eV

Hendel S (2009)
Bielefeld (Germany): Bielefeld University.

Bielefelder E-Dissertation | Deutsch
 
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Autor*in
Hendel, Stefan
Betreuer*in
Heinzmann, Ulrich
Abstract / Bemerkung
Im Mittelpunkt dieser Arbeit stehen die Entwicklung und Charakterisierung von La/B4C-Multischichtsystemen. Dazu wurden diese Materialien für die verwendete Elektronenstrahlverdampfung evaluiert und charakterisiert. Für die Überwachung des Aufdampfprozesses standen zwei separate In-situ Schichtdickenkontrollen zur Verfügung. Für periodische Multischichtsysteme wurde die für Mo/Si-Multischichten genutzte Röntgenreflektometrie übernommen. Aufgrund des Wechsels von Mo/Si auf La/B4C musste materialbedingt die Steuerung des Verdampfungsprozesses weiterentwickelt und optimiert werden. Für die Herstellung aperiodischer La/B4C-Multischichtsysteme wurde zusätzlich ein In-situ Ellipsometer in Betrieb genommen. Des Weiteren soll eine Senkung der Grenzflächenrauigkeiten und damit einhergehende Erhöhung der Reflektivitäten von La/B4C-Multischichten durch das Polieren mit beschleunigten Ionen der einzelnen Schichten während der Herstellung untersucht werden. Die hergestellten Multischichten werden hinsichtlich Rauigkeiten, Reflektivitäten und spektraler Bandbreite charakterisiert und ausgewertet.
Stichworte
Mehrschichtsystem; Lanthan; Borcarbid; Röntgenspiegel; Extremes Ultraviolett
Jahr
2009
Page URI
https://pub.uni-bielefeld.de/record/2302600

Zitieren

Hendel S. Entwicklung und Charakterisierung von La/B4C-Multischichtsystemen als Röntgenspiegel im Energiebereich 100 - 200 eV. Bielefeld (Germany): Bielefeld University; 2009.
Hendel, S. (2009). Entwicklung und Charakterisierung von La/B4C-Multischichtsystemen als Röntgenspiegel im Energiebereich 100 - 200 eV. Bielefeld (Germany): Bielefeld University.
Hendel, S. (2009). Entwicklung und Charakterisierung von La/B4C-Multischichtsystemen als Röntgenspiegel im Energiebereich 100 - 200 eV. Bielefeld (Germany): Bielefeld University.
Hendel, S., 2009. Entwicklung und Charakterisierung von La/B4C-Multischichtsystemen als Röntgenspiegel im Energiebereich 100 - 200 eV, Bielefeld (Germany): Bielefeld University.
S. Hendel, Entwicklung und Charakterisierung von La/B4C-Multischichtsystemen als Röntgenspiegel im Energiebereich 100 - 200 eV, Bielefeld (Germany): Bielefeld University, 2009.
Hendel, S.: Entwicklung und Charakterisierung von La/B4C-Multischichtsystemen als Röntgenspiegel im Energiebereich 100 - 200 eV. Bielefeld University, Bielefeld (Germany) (2009).
Hendel, Stefan. Entwicklung und Charakterisierung von La/B4C-Multischichtsystemen als Röntgenspiegel im Energiebereich 100 - 200 eV. Bielefeld (Germany): Bielefeld University, 2009.
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2019-09-25T06:15:57Z
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