Large area soft x-ray projection lithography using multilayer mirrors structured by RIE

Rahn S, Kloidt A, Kleineberg U, Schmiedeskamp B, Kadel K, Schomburg WK, Hormes J, Heinzmann U (1992)
Spie Proc. 1992 (Soc. Phot. Opt. Inst. Eng.) 1742: 585.

Zeitschriftenaufsatz | Veröffentlicht | Englisch
 
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Autor*in
Rahn, S.; Kloidt, A.; Kleineberg, U.; Schmiedeskamp, B.; Kadel, K.; Schomburg, W.K.; Hormes, J.; Heinzmann, UlrichUniBi
Erscheinungsjahr
1992
Zeitschriftentitel
Spie Proc. 1992 (Soc. Phot. Opt. Inst. Eng.)
Band
1742
Seite(n)
585
Page URI
https://pub.uni-bielefeld.de/record/1957934

Zitieren

Rahn S, Kloidt A, Kleineberg U, et al. Large area soft x-ray projection lithography using multilayer mirrors structured by RIE. Spie Proc. 1992 (Soc. Phot. Opt. Inst. Eng.). 1992;1742:585.
Rahn, S., Kloidt, A., Kleineberg, U., Schmiedeskamp, B., Kadel, K., Schomburg, W. K., Hormes, J., et al. (1992). Large area soft x-ray projection lithography using multilayer mirrors structured by RIE. Spie Proc. 1992 (Soc. Phot. Opt. Inst. Eng.), 1742, 585.
Rahn, S., Kloidt, A., Kleineberg, U., Schmiedeskamp, B., Kadel, K., Schomburg, W. K., Hormes, J., and Heinzmann, U. (1992). Large area soft x-ray projection lithography using multilayer mirrors structured by RIE. Spie Proc. 1992 (Soc. Phot. Opt. Inst. Eng.) 1742, 585.
Rahn, S., et al., 1992. Large area soft x-ray projection lithography using multilayer mirrors structured by RIE. Spie Proc. 1992 (Soc. Phot. Opt. Inst. Eng.), 1742, p 585.
S. Rahn, et al., “Large area soft x-ray projection lithography using multilayer mirrors structured by RIE”, Spie Proc. 1992 (Soc. Phot. Opt. Inst. Eng.), vol. 1742, 1992, pp. 585.
Rahn, S., Kloidt, A., Kleineberg, U., Schmiedeskamp, B., Kadel, K., Schomburg, W.K., Hormes, J., Heinzmann, U.: Large area soft x-ray projection lithography using multilayer mirrors structured by RIE. Spie Proc. 1992 (Soc. Phot. Opt. Inst. Eng.). 1742, 585 (1992).
Rahn, S., Kloidt, A., Kleineberg, U., Schmiedeskamp, B., Kadel, K., Schomburg, W.K., Hormes, J., and Heinzmann, Ulrich. “Large area soft x-ray projection lithography using multilayer mirrors structured by RIE”. Spie Proc. 1992 (Soc. Phot. Opt. Inst. Eng.) 1742 (1992): 585.

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