Large area soft x-ray projection lithography using multilayer mirrors structured by RIE
Rahn S, Kloidt A, Kleineberg U, Schmiedeskamp B, Kadel K, Schomburg WK, Hormes J, Heinzmann U (1992)
Spie Proc. 1992 (Soc. Phot. Opt. Inst. Eng.) 1742: 585.
Zeitschriftenaufsatz
| Veröffentlicht | Englisch
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Autor*in
Rahn, S.;
Kloidt, A.;
Kleineberg, U.;
Schmiedeskamp, B.;
Kadel, K.;
Schomburg, W.K.;
Hormes, J.;
Heinzmann, UlrichUniBi
Erscheinungsjahr
1992
Zeitschriftentitel
Spie Proc. 1992 (Soc. Phot. Opt. Inst. Eng.)
Band
1742
Seite(n)
585
Page URI
https://pub.uni-bielefeld.de/record/1957934
Zitieren
Rahn S, Kloidt A, Kleineberg U, et al. Large area soft x-ray projection lithography using multilayer mirrors structured by RIE. Spie Proc. 1992 (Soc. Phot. Opt. Inst. Eng.). 1992;1742:585.
Rahn, S., Kloidt, A., Kleineberg, U., Schmiedeskamp, B., Kadel, K., Schomburg, W. K., Hormes, J., et al. (1992). Large area soft x-ray projection lithography using multilayer mirrors structured by RIE. Spie Proc. 1992 (Soc. Phot. Opt. Inst. Eng.), 1742, 585.
Rahn, S., Kloidt, A., Kleineberg, U., Schmiedeskamp, B., Kadel, K., Schomburg, W.K., Hormes, J., and Heinzmann, Ulrich. 1992. “Large area soft x-ray projection lithography using multilayer mirrors structured by RIE”. Spie Proc. 1992 (Soc. Phot. Opt. Inst. Eng.) 1742: 585.
Rahn, S., Kloidt, A., Kleineberg, U., Schmiedeskamp, B., Kadel, K., Schomburg, W. K., Hormes, J., and Heinzmann, U. (1992). Large area soft x-ray projection lithography using multilayer mirrors structured by RIE. Spie Proc. 1992 (Soc. Phot. Opt. Inst. Eng.) 1742, 585.
Rahn, S., et al., 1992. Large area soft x-ray projection lithography using multilayer mirrors structured by RIE. Spie Proc. 1992 (Soc. Phot. Opt. Inst. Eng.), 1742, p 585.
S. Rahn, et al., “Large area soft x-ray projection lithography using multilayer mirrors structured by RIE”, Spie Proc. 1992 (Soc. Phot. Opt. Inst. Eng.), vol. 1742, 1992, pp. 585.
Rahn, S., Kloidt, A., Kleineberg, U., Schmiedeskamp, B., Kadel, K., Schomburg, W.K., Hormes, J., Heinzmann, U.: Large area soft x-ray projection lithography using multilayer mirrors structured by RIE. Spie Proc. 1992 (Soc. Phot. Opt. Inst. Eng.). 1742, 585 (1992).
Rahn, S., Kloidt, A., Kleineberg, U., Schmiedeskamp, B., Kadel, K., Schomburg, W.K., Hormes, J., and Heinzmann, Ulrich. “Large area soft x-ray projection lithography using multilayer mirrors structured by RIE”. Spie Proc. 1992 (Soc. Phot. Opt. Inst. Eng.) 1742 (1992): 585.
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