Charakterisierung der Gasphase eines Heißdraht-CVD-Systems zur Diamantabscheidung mit laserdiagnostischen Methoden: ortsaufgelöste Bestimmung von Temperaturen vowie H- und CH 3 -Konzentrationen

Heberle N (1994)
Stuttgart: Inst. für Physikalische Chemie und Verbrennung, Dt. Forschungsanst. für Luft- und Raumfahrt (DLR).

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Dissertation | Deutsch
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II, 117
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Heberle N. Charakterisierung der Gasphase eines Heißdraht-CVD-Systems zur Diamantabscheidung mit laserdiagnostischen Methoden: ortsaufgelöste Bestimmung von Temperaturen vowie H- und CH 3 -Konzentrationen. Stuttgart: Inst. für Physikalische Chemie und Verbrennung, Dt. Forschungsanst. für Luft- und Raumfahrt (DLR); 1994.
Heberle, N. (1994). Charakterisierung der Gasphase eines Heißdraht-CVD-Systems zur Diamantabscheidung mit laserdiagnostischen Methoden: ortsaufgelöste Bestimmung von Temperaturen vowie H- und CH 3 -Konzentrationen. Stuttgart: Inst. für Physikalische Chemie und Verbrennung, Dt. Forschungsanst. für Luft- und Raumfahrt (DLR).
Heberle, N. (1994). Charakterisierung der Gasphase eines Heißdraht-CVD-Systems zur Diamantabscheidung mit laserdiagnostischen Methoden: ortsaufgelöste Bestimmung von Temperaturen vowie H- und CH 3 -Konzentrationen. Stuttgart: Inst. für Physikalische Chemie und Verbrennung, Dt. Forschungsanst. für Luft- und Raumfahrt (DLR).
Heberle, N., 1994. Charakterisierung der Gasphase eines Heißdraht-CVD-Systems zur Diamantabscheidung mit laserdiagnostischen Methoden: ortsaufgelöste Bestimmung von Temperaturen vowie H- und CH 3 -Konzentrationen, Stuttgart: Inst. für Physikalische Chemie und Verbrennung, Dt. Forschungsanst. für Luft- und Raumfahrt (DLR).
N. Heberle, Charakterisierung der Gasphase eines Heißdraht-CVD-Systems zur Diamantabscheidung mit laserdiagnostischen Methoden: ortsaufgelöste Bestimmung von Temperaturen vowie H- und CH 3 -Konzentrationen, Stuttgart: Inst. für Physikalische Chemie und Verbrennung, Dt. Forschungsanst. für Luft- und Raumfahrt (DLR), 1994.
Heberle, N.: Charakterisierung der Gasphase eines Heißdraht-CVD-Systems zur Diamantabscheidung mit laserdiagnostischen Methoden: ortsaufgelöste Bestimmung von Temperaturen vowie H- und CH 3 -Konzentrationen. Inst. für Physikalische Chemie und Verbrennung, Dt. Forschungsanst. für Luft- und Raumfahrt (DLR), Stuttgart (1994).
Heberle, Norbert. Charakterisierung der Gasphase eines Heißdraht-CVD-Systems zur Diamantabscheidung mit laserdiagnostischen Methoden: ortsaufgelöste Bestimmung von Temperaturen vowie H- und CH 3 -Konzentrationen. Stuttgart: Inst. für Physikalische Chemie und Verbrennung, Dt. Forschungsanst. für Luft- und Raumfahrt (DLR), 1994.

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