Gefüge- und Grenzflächenbeschaffenheit von Mo/Si-Multischichten, synthetisiert mittels Puls-Laser- und Magnetron-Sputter-Deposition : Spiegel für extrem ultraviolette Strahlung

Braun S (2004)
Bielefeld (Germany): Bielefeld University.

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OA
Bielefeld Dissertation | German
Author
Supervisor
Heinzmann, Ulrich (Prof. Dr.)
Alternative Title
Morphology and interface structure of Mo/Si multilayers synthesized by pulsed laser and magnetron sputter deposition
Abstract
Im Rahmen dieser Arbeit wurden Struktur und Eigenschaften von Mo/Si-Multischichten untersucht, die mittels Puls-Laser-Deposition (PLD) und Magnetron-Sputter-Deposition (MSD) synthetisiert wurden. Ausgehend vom zweikomponentigen Grundsystem, bestehend aus Molybdän-, Silizium- und Übergangsschichten, erfolgte eine Weiterentwicklung dieses Grundsystems, indem dünnste Barriereschichten zwischen die eigentlichen Mo- und Si-Lagen eingefügt wurden, die effektiv Interdiffusion und chemische Reaktionen der beiden Hauptkomponenten verringern können. Die damit verbundenen strukturellen Veränderungen innerhalb der Multischichten wurden mittels verschiedener Dünnschichtcharakterisierungsverfahren (Röntgenreflektometrie, EUV-Reflektometrie, Röntgendiffraktometrie, Transmissionselektronenmikroskopie = TEM) analysiert und die Auswirkungen auf die röntgenoptischen Eigenschaften werden beschrieben.
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Braun S. Gefüge- und Grenzflächenbeschaffenheit von Mo/Si-Multischichten, synthetisiert mittels Puls-Laser- und Magnetron-Sputter-Deposition : Spiegel für extrem ultraviolette Strahlung. Bielefeld (Germany): Bielefeld University; 2004.
Braun, S. (2004). Gefüge- und Grenzflächenbeschaffenheit von Mo/Si-Multischichten, synthetisiert mittels Puls-Laser- und Magnetron-Sputter-Deposition : Spiegel für extrem ultraviolette Strahlung. Bielefeld (Germany): Bielefeld University.
Braun, S. (2004). Gefüge- und Grenzflächenbeschaffenheit von Mo/Si-Multischichten, synthetisiert mittels Puls-Laser- und Magnetron-Sputter-Deposition : Spiegel für extrem ultraviolette Strahlung. Bielefeld (Germany): Bielefeld University.
Braun, S., 2004. Gefüge- und Grenzflächenbeschaffenheit von Mo/Si-Multischichten, synthetisiert mittels Puls-Laser- und Magnetron-Sputter-Deposition : Spiegel für extrem ultraviolette Strahlung, Bielefeld (Germany): Bielefeld University.
S. Braun, Gefüge- und Grenzflächenbeschaffenheit von Mo/Si-Multischichten, synthetisiert mittels Puls-Laser- und Magnetron-Sputter-Deposition : Spiegel für extrem ultraviolette Strahlung, Bielefeld (Germany): Bielefeld University, 2004.
Braun, S.: Gefüge- und Grenzflächenbeschaffenheit von Mo/Si-Multischichten, synthetisiert mittels Puls-Laser- und Magnetron-Sputter-Deposition : Spiegel für extrem ultraviolette Strahlung. Bielefeld University, Bielefeld (Germany) (2004).
Braun, Stefan. Gefüge- und Grenzflächenbeschaffenheit von Mo/Si-Multischichten, synthetisiert mittels Puls-Laser- und Magnetron-Sputter-Deposition : Spiegel für extrem ultraviolette Strahlung. Bielefeld (Germany): Bielefeld University, 2004.
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