Untersuchungen von dünnen Aluminiumoxid-Schichten

Czerkas S (2004)
Bielefeld (Germany): Bielefeld University.

Download
OA
Bielefeld Dissertation | German
Author
Supervisor
Reiss, Günter (Prof. Dr.)
Alternative Title
Investigations of thin aluminium oxide films
Abstract
Methods to investigate the properties of thin aluminium oxide barriers on the nanometer scale were analysed. Dielectric breakdown was investigated by means of STM/STS. The lateral distribution of the barrier thickness was also determined.

In dieser Arbeit wurden Methoden zur Untersuchung von wichtigen Eigenschaften von Aluminiumoxid-Tunnelbarrieren auf der Nanometerskala analysiert. Insbesondere konnte mittels STM/STS der dielektrische Durchbruch lokal untersucht und die Verteilung der Barrierendicke lateral aufgelöst bestimmt werden.
Year
PUB-ID

Cite this

Czerkas S. Untersuchungen von dünnen Aluminiumoxid-Schichten. Bielefeld (Germany): Bielefeld University; 2004.
Czerkas, S. (2004). Untersuchungen von dünnen Aluminiumoxid-Schichten. Bielefeld (Germany): Bielefeld University.
Czerkas, S. (2004). Untersuchungen von dünnen Aluminiumoxid-Schichten. Bielefeld (Germany): Bielefeld University.
Czerkas, S., 2004. Untersuchungen von dünnen Aluminiumoxid-Schichten, Bielefeld (Germany): Bielefeld University.
S. Czerkas, Untersuchungen von dünnen Aluminiumoxid-Schichten, Bielefeld (Germany): Bielefeld University, 2004.
Czerkas, S.: Untersuchungen von dünnen Aluminiumoxid-Schichten. Bielefeld University, Bielefeld (Germany) (2004).
Czerkas, Slawomir. Untersuchungen von dünnen Aluminiumoxid-Schichten. Bielefeld (Germany): Bielefeld University, 2004.
Main File(s)
Access Level
OA Open Access

This data publication is cited in the following publications:
This publication cites the following data publications:

Export

0 Marked Publications

Open Data PUB

Search this title in

Google Scholar