Bu3P-Silber(I)-ß-Diketonate: Synthese, Gasphasenuntersuchungen und Verwendung als CVD-Precursoren

Schmidt H, Jakob A, Haase T, Kohse-Höinghaus K, Schulz SE, Wächtler T, Gessner T, Lang H (2005)
Zeitschrift für anorganische und allgemeine Chemie 631(13-14): 2786-2791.

Journal Article | Published | German

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The synthesis if the silver(I) salts [AgX] (3a, X = acetylacetonate, acac; 3b, X = 1,1,1,5,5,5-hexafluoroacetylacetonate, hfac; 3c, X = 1,3-diphenyl-1,3-propanedionate, dipa) by the reaction of [AgNO3] (1) with H-X (2a, X = acac; 2b, X = hfac; 2c, X = dipa), or [Ag2O] (4) with 2b is reported. The addition of (Bu3P)-Bu-n (5) to 3a - 3c inn the ratios of 1:1 and 2:1, respectively, affords the phosphane silver (I) beta-diketonates [((Bu3P)-Bu-n)(m)AgX] (m = 1: 6a, X = acac; 6b, X = hfac; 6c, X = dipa. m = 2: 7a, X = acac; 7b, X = hfac; 7c, X = dipa) in yield. The thermal behavior (thermogravimetry) and gas phase properties (temperature-programmed mass spectrometry) of selected species are discussed. Complex 7a can successfully be used in deposition of silver on titanium nitride coated oxidized silicon wafers by the CVD process (CVD = Chemical Vapour Deposition). SEM studies show that homogeneous and continous silver layers were obtained.
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Schmidt H, Jakob A, Haase T, et al. Bu3P-Silber(I)-ß-Diketonate: Synthese, Gasphasenuntersuchungen und Verwendung als CVD-Precursoren. Zeitschrift für anorganische und allgemeine Chemie. 2005;631(13-14):2786-2791.
Schmidt, H., Jakob, A., Haase, T., Kohse-Höinghaus, K., Schulz, S. E., Wächtler, T., Gessner, T., et al. (2005). Bu3P-Silber(I)-ß-Diketonate: Synthese, Gasphasenuntersuchungen und Verwendung als CVD-Precursoren. Zeitschrift für anorganische und allgemeine Chemie, 631(13-14), 2786-2791.
Schmidt, H., Jakob, A., Haase, T., Kohse-Höinghaus, K., Schulz, S. E., Wächtler, T., Gessner, T., and Lang, H. (2005). Bu3P-Silber(I)-ß-Diketonate: Synthese, Gasphasenuntersuchungen und Verwendung als CVD-Precursoren. Zeitschrift für anorganische und allgemeine Chemie 631, 2786-2791.
Schmidt, H., et al., 2005. Bu3P-Silber(I)-ß-Diketonate: Synthese, Gasphasenuntersuchungen und Verwendung als CVD-Precursoren. Zeitschrift für anorganische und allgemeine Chemie, 631(13-14), p 2786-2791.
H. Schmidt, et al., “Bu3P-Silber(I)-ß-Diketonate: Synthese, Gasphasenuntersuchungen und Verwendung als CVD-Precursoren”, Zeitschrift für anorganische und allgemeine Chemie, vol. 631, 2005, pp. 2786-2791.
Schmidt, H., Jakob, A., Haase, T., Kohse-Höinghaus, K., Schulz, S.E., Wächtler, T., Gessner, T., Lang, H.: Bu3P-Silber(I)-ß-Diketonate: Synthese, Gasphasenuntersuchungen und Verwendung als CVD-Precursoren. Zeitschrift für anorganische und allgemeine Chemie. 631, 2786-2791 (2005).
Schmidt, H., Jakob, A., Haase, T., Kohse-Höinghaus, Katharina, Schulz, S.E., Wächtler, T., Gessner, T., and Lang, H. “Bu3P-Silber(I)-ß-Diketonate: Synthese, Gasphasenuntersuchungen und Verwendung als CVD-Precursoren”. Zeitschrift für anorganische und allgemeine Chemie 631.13-14 (2005): 2786-2791.
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